台阶表面高度测量的单光栅干涉仪及台阶表面高度测量方法
- Affilication of Author(s):电子与信息工程学院
- Patent Coverage:国内
- School Sign:第一单位
- Type of Patent:发明专利
- Application Number:2014105732152
- Service Invention or Not:yes
- First Author:宦海
- Publication Date:2015-02-04
- Application Date:2014-10-23
Pre One:
基于自混合干涉的共焦点激光显微镜及其扫描方法
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基于Hough圆卷积变换算法的孔组检测方法与系统