江苏淮安人，博士，讲师。2024年博士毕业于东南大学微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室，主要研究方向为MEMS传感器与执行器，重点研究光学MEMS(MOEMS)器件，包括ng级高精度MEMS加速度计、MEMS微震计与重力计、MEMS微镜等。主持/参与江苏省自然科学基金、江苏省高校自然科学研究项目、JKW创新特区基金、总装预研基金、国家自然科学基金等多项课题。在IEEE T-IE、IEEE T-IM、OL、IEEE SENS J、JMM等仪器仪表和光学领域知名期刊发表学术论文10余篇，授权专利10余项。

科研项目：

[1]  江苏省自然科学基金青年项目                       2025-2028，在研，主持

[2]  江苏省高等学校基础科学研究面上项目       2025-2027，在研，主持

[3]  企业合作开发项目                                           2024-长期，在研，主持

[4]  JKW创新特区基金                                           2020-2022，结题，参与

[5]  总装备部预研基金                                           2019-2021，结题，参与

研究兴趣：

[1] MEMS传感器与执行器

[2] 高精度光学MEMS加速度计；

[3] 光学MEMS微震计与重力计；

[4] 光学MEMS微镜；

[5] MEMS力传感器。

招生计划：

预计从2026年开始招收硕士研究生，欢迎电子、仪器、通信、控制等相关专业的同学联系，课题组研究方向主要涉及：高精度MEMS传感器结构设计、微纳光学器件结构设计、基于FPGA的数模混合测控电路、微电子工艺等。

部分成果：

学术论文：

[1]    Cheng Li, Zhenyu Sun, Luqiang Zhou, Xiang Zheng, Xin Guo, Xin Huang, Bo Yang. Microseismic Observation Enabled by High-sensitivity Micromechanical Interferometers [J]. IEEE Transactions on Industrial Electronics, 2024, 71(5): 5349-5359.

[2]    Cheng Li^†, Xiang Zheng^†, Zhenyu Sun, Luqiang Zhou, Xin Guo, Xin Huang, Bo Yang. Design and Demonstration of an Electromagnetic Force-Rebalanced Sub-10-Hz Interferometric MEMS Accelerometer [J]. IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement, 2023, 72: 1-10, Art no. 9510110.

[3]    Cheng Li, Bo Yang, Xiang Zheng, Zhenyu Sun, Luqiang Zhou, Xin Huang, Xin Guo. An Optical Interferometry Based MEMS Accelerometer Applicable to Seismic-grade Measurement [J]. IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement, 2022, 71: 1-10, Art no. 7503810.

[4]    Cheng Li, Bo Yang, Xiang Zheng, Xin Guo, Zhenyu Sun, Luqiang Zhou, Xin Huang. 2 ng/√Hz-resolution Optomechanical Accelerometer Employing a Three-dimensional MEMS Interferometer [J]. Optics Letters, 2022, 47(7): 1883-1886.

[5]    Cheng Li, Bo Yang, Xiang Zheng, Zhenyu Sun, Luqiang Zhou, Xin Huang, Xin Guo. Nano-g Micro-optics Accelerometer with Force Feedback Control and Improved Dynamic Range [J]. IEEE Sensors Journal, 2022, 22(14): 14018-14025.

[6]    Cheng Li, Bo Yang, Xiang Zheng, Zhenyu Sun, Luqiang Zhou. A Seismic-grade Optical MEMS Accelerometer with Force Feedback Control [C] in 2022 29th Saint Petersburg International Conference on Integrated Navigation Systems (ICINS). IEEE, 2022: 1-8.

[7]    Zhenyu Sun^†, Cheng Li^†, Luqiang Zhou, Xin Huang, Bo Yang. Nano-g Optical Accelerometer with a Large Dynamic Range and Low Noise Floor [J]. IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement, 2023, 72: 1-9, Art no. 9509409.

[8]  Xin Guo, Bo Yang, Cheng Li, Zhuoyue Liang. Enhancing Output Linearity of Weakly Coupled Resonators by Simple Algebraic Operations [J]. Sensors and Actuators A: physical, 2021, 325:112696.

[9]  Xin Guo, Bo Yang, Cheng Li, Zhuoyue Liang. Mode localized artificial hair sensor with enhanced linearity applied for dual-axis air flow sensing [J]. Journal of Micromechanics and Microengineering, 2020, 31(2): 025001.

[10]  Xin Guo, Bo Yang, Cheng Li. A dual-axis hair flow sensor based on weakly coupled double ended tuning forks [C]. In: 34th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS), 2021, pp. 752-755.

发明专利：

[1] 杨波，李成，郑翔，郭鑫，孙震宇，周陆强. 一种基于MEMS三维干涉仪的光学微震计装置[P]，专利授权号：ZL202210182092.4.

[2] 杨波，李成，郑翔，黄鑫，孙震宇，陈新茹. 一种基于MEMS工艺的超低频垂直轴硅微敏感结构及制造方法[P]，专利授权号：ZL202210181556.X.

[3] 杨波，李成，高小勇，王斌龙. 一种基于杠杆机构的差动式隧道磁阻式加速度计装置[P]，专利授权号：ZL201811049038.2.

[4] 杨波，李成，郭鑫，高小勇. 一种硅MEMS陀螺仪多回路数字化闭环控制装置[P]，专利授权号：ZL201910468068.5.

[5] 杨波，李成，冯雨，王斌龙. 一种基于3D打印的水平轴敏感的隧道磁阻加速度计装置[P]，专利授权号：ZL201811049089.5.

[6] 杨波，郑翔，李成，周陆强. 一种基于光源波动抑制技术的MOEMS加速度计信号提取装置[P]，专利授权号：ZL202110106010.3.

2022.10 -- 2023.10
澳大利亚国立大学       工学院       博士联合培养

2017.9 -- 2024.9
东南大学       仪器科学与技术       博士研究生（硕博连读）       工学博士

2013.9 -- 2017.6
南京邮电大学       测控技术与仪器       本科       工学学士