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专利
一种频率和品质因数可调的微机械谐振器
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所属单位:
电子与信息工程学院
专利范围:
国内
学校署名:
第一单位
专利类型:
实用专利
申请号:
201320408026.0
是否职务专利:
是
申请日期:
2013-06-26
公开日期:
2013-12-11
第一作者:
刘恒
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