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博士学位
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教授
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专利
电容式微机械加速度计及其制造方法
点击次数：
所属单位：
电子与信息工程学院
专利范围：
国内
学校署名：
第一单位
专利类型：
发明专利
申请号：
201410380509.3
是否职务专利：
是
申请日期：
2014-08-04
公开日期：
2014-11-19
第一作者：
刘恒
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