南京信息工程大学主页平台管理系统张加宏--中文主页-- 2021-SCI-T2-Design and Fabrication of Temperature-Insensitive MEMS Pressure Sensor Utilizing Aluminum-Silicon Hybrid Structures

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2021-SCI-T2-Design and Fabrication of Temperature-Insensitive MEMS Pressure Sensor Utilizing Aluminum-Silicon Hybrid Structures

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