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Patents
一种差分谐振式微加速度计及其驱动方法
Date:2019-11-20 Hits:Affilication of Author(s):电子与信息工程学院
Patent Coverage:国内
School Sign:第一单位
Type of Patent:发明专利
Application Number:201310194025.5
Service Invention or Not:yes
Application Date:2013-05-22
Publication Date:2013-09-04
First Author:刘恒
Pre One:一种硅微机械结构振动幅度的电学测量方法
Next One:一种振动式微机械电场传感器
刘恒
Other Post:硕士研究生导师
Degree:Doctoral degree
School/Department:电子与信息工程学院
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