微纳电子材料与器件、原子尺度制造及原位检测研究,具体包括：

1．新型纳米材料的可控制备与动态结构表征；

2．纳米单体结构的力、热、光、电等特性的原位研究；

3．原子尺度高精度纳米集成制造与纳米操纵(原子制造)；

4．电子显微镜内纳米实验室的构建与方法研究；

5．纳米材料(石墨烯等)在能源、环保与微纳系统中的应用。