一种Z轴电容式微机械加速度计

一种力平衡式微机械电场传感器

一种基于模数转换器的程控高精度电阻测量仪

一种直流电压信号变送装置

Z轴电容式微机械加速度计

一种基于DDS技术的波形发生装置

一种频率和品质因数可调的微机械谐振器

一种基于正交调制原理的频率特性分析仪

一种数字式无线倾斜角度测量仪

一种硅微机械结构振动幅度的电学测量方法

一种差分谐振式微加速度计及其驱动方法

一种振动式微机械电场传感器

一种基于静电刚度的谐振式微加速度计

电容式MEMS器件微弱电容的检测装置